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簡(jiǎn)要描述:X-LDM-AE 系列,線性電動(dòng)位移臺(tái),集成控制器。高重復(fù)性(80nm)和精度 (1 µm),最小移動(dòng)量 25nm。
產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
高重復(fù)性(80nm)和精度 (1 µm),最小移動(dòng)量 25nm
直接位置測(cè)量從1nm分辨率線性編碼器
速度可達(dá)1.2m/s 和3.5g 加速度
60, 110, 210 mm 行程可選
內(nèi)置控制器
非接觸無(wú)鐵超精密直線電機(jī),高動(dòng)態(tài)和零反彈
直接安裝在XY 軸
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